第464章 泰斗折服,八旬国士愿为小学生(1/2)
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指挥部临时搭建的板房会议室里,灯火通明。
这里没有豪华的装修,只有一张掉漆的长条桌,几把吱呀作响的摺叠椅。
桌上,两杯热气腾腾的白开水,旁边是堆得像小山一样的技术资料。
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李昂和锺元年,就这麽相对而坐。
一个年轻的市长,一个白发的泰斗。
这场注定要载入江州史册的彻夜长谈。
就在这简陋到近乎寒酸的环境里,开始了。
「说说材料吧。」
锺元年率先开口,打破了沉默。
他没有问那些宏观的战略,而是直插心脏,从整个半导体产业最基础的根基问起。
李昂点了点头,身体微微后仰,靠在椅背上。
「磷化铟丶氮化镓丶碳化矽。」
他没有丝毫的停顿,直接报出了三个名字。
「这三种化合物半导体材料,国内都有实验室在做,但都没得到真正的重视。」
「所有人都觉得,这是旁门左道,远不如矽基晶片前景广阔。」
锺元年苍老的眼皮动了动,没有说话,示意他继续。
「但他们没看到,在高频丶高温丶高功率的应用场景下,这三种材料的物理性能,是矽望尘莫及的。」
「B计划的第一步,不是要去追赶别人已经成熟的赛道。」
「而是要开辟一个全新的,我们能掌握主动权的战场。」
李昂的声音很平稳,就像在陈述一个既定的事实。
锺元年端起水杯,喝了一口,滚烫的开水仿佛没能给他带来任何感觉。
他只是默默地听着,那张布满皱纹的脸上,看不出任何情绪。
李昂话锋一转。
「再说说等离子物理。」
他站起身,走到墙边挂着的一块白板前,拿起一支记号笔。
「国内现有的ICP刻蚀机,最大的问题是等离子体均匀性不够,导致良品率上不去。」
「核心原因,在于反应腔的结构设计,沿用的是二十年前的老路子。」
他说着,笔尖在白板上飞快地移动。
几条简单的曲线,几个关键的参数标注,一个全新的反应腔结构示意图,跃然板上。
「增加一个亥姆霍兹线圈,改变射频电源的耦合方式,再优化一下气路喷淋头的设计。」
「这样,就能在腔体内形成一个更稳定丶更均匀的磁约束场。」
「刻蚀的精度和速度,至少能提升百分之三十。」
李昂放下笔,转过身。
会议室里,一片死寂。
锺元年身边,那个一直安静站着的年轻秘书,此刻张大了嘴巴,满脸的不可思议。
而不知何时,听到动静悄悄站在门口的钱总工和几位核心专家,更是感觉自己的头皮都在发麻。
因为李昂画出的那个结构图,那个改进方案……
恰好解决了锺元年团队在二十年前,一个悬而未决的技术难题!
那个难题,耗费了他们整整三年的心血,最后只能无奈放弃!
锺元年的呼吸,变得有些急促。
他撑着桌子,缓缓站了起来,一步一步走到白板前。
他伸出乾枯的手,指尖颤抖地抚过那几条看似简单的曲线。
那不是图纸。
那是一个困扰了他半生的心魔!
他猛地回头,死死地盯着李昂。
「这个方案,你是怎麽想到的?」
李昂的回答,平静得近乎冷酷。
「我没想,它本该就是这样。」
这句话,像一把重锤,狠狠砸在锺元年的心上。
他本该就是这样……
是啊,他们当年为什麽就没能再往前多走一步?
锺元年没有再问下去。
他知道,再问,就是自取其辱了。
他回到了自己的座位上,沉默了许久。
整个会议室里的空气,都仿佛凝固了。
当锺元年再次抬起头时,他看着李昂的眼神,已经彻底变了。
如果说之前是审视和考量。
那麽现在,就是纯粹的,面对未知领域的敬畏。
「光刻机呢?」
他沙哑地问出了最后一个,也是最核心的问题。
所有人的心,都提到了嗓子眼。
李昂没有直接回答。
他回到桌前,从那堆资料里,抽出了一份最厚的文件,翻开。
「我们不碰EUV。」
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