第308章 已经存在的光刻机联盟（2/2）

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“陈总，目前我们自主研发的45纳米光刻机，已经解决了掩膜版技术，光刻技术和蚀刻技术，唯有光源和镜片方面迟迟得不到突破。”

“我们的蚀刻机技术也打破了西方的垄断，处于国际主流水平。”魔都微电的徐丛说道。

这些发展对于在座的几家公司老总来说，都是透明的，他们也没少订购魔都微电的光刻机，所以这不是什么保密的进度。

魔都微电的90纳米光刻机技术相对成熟以后，自然是要开始45纳米的研发。

陈尘点了点头，瞬间大喜，看来自己还是小觑了国家对半导体产业的投入以及技术了。

这不是保密的东西，自己也是刚刚知道，人家魔都微电的90纳米已经外售，45纳米也完成了大部分。（这里是提速架空，实际上魔都微电的90纳米光刻机是16年才实现量产，是步进扫描投影光刻机，分辨率能做到90nm。）

至于光源问题？

我?刚好有小爱给的光源技术啊！

“也就是说我们现在首先需要解决的就是稳定的光源。”

“目前有方案吗？”

“唉。”

说到这个，徐丛先是叹了一口气，又把酒杯里的酒一饮而尽，才悠悠的说道：“陈总，你也知道，我们魔都微电背后是有国资支撑的，钱我们不怎么缺。”

“但是再多的钱也没办法解决技术上的问题，我们的研发团队一直在和那些技术供应商进行沟通，想试图解决光源问题。”

“中科院那边给出了一个准分子激光光源，这个系统只能说还能用，但是对我们45纳米的项目却没有任何作用。”

对于光源，陈尘多少还是了解一点的，那就是duv和euv光刻机的区别。

前者的duv光刻机用的就是准分子激光光源，波长也只能达到193纳米，所以魔都微电这边在进行45纳米光刻机研发时，准分子激光光源没什么作用。

因为duv想做到45纳米的精度，难度实在太大，以魔都微电的能力根本就做不到，必须要用euv才行。

“陈总，不瞒您说，其实咱们华夏的光刻机联盟是已经成立了。”旁边的蔡永芯说道。

“已经成立了？什么时候的事，我怎么一点消息都不知道。”陈尘一脸诧异，这自己要成立的光刻机联盟，早就存在了？

“哈哈，陈总进入半导体行业时间不长，所以可能不太了解。”

“蔡总，你和陈总说一下吧。”

蔡永芯放下茶杯，对陈尘解释道：“陈总，其实早在2012年我们就已经加大开始对光刻机方面的投入，由上层进行接洽和联合，我们这些半导体产业的公司分别负责不同的方面，全力支持魔都微电进行光刻机研发。”