第一百七十二章 长城一号项目组(2/2)
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当那根直径三英寸的单晶硅棒,稳稳地放在天鹅绒的托盘上时,整个实验室,爆发出雷鸣般的欢呼!
李伟业总工戴着白手套,颤抖地抚摸着那根光滑如镜的硅棒,像是在抚摸一件绝世珍宝。他转过头,看着满身油污和化学品味道的刘天柱,看着双眼布满血丝的周煜,看着同样疲惫但眼神明亮的郑昊,这位老将的眼泪,再也忍不住,夺眶而出。
“我们……我们有自己的基石了!”
第一根三英寸单晶硅棒的诞生,像一针强心剂,注入了长城一号项目组每个人的心脏。成功的喜悦冲淡了连日奋战的疲惫,实验室里洋溢着一种近乎疯狂的氛围。
然而,郑昊却比任何人都清醒。他知道,这仅仅是万里长征的第一步。从一根完美的单晶硅棒,到一片合格的晶圆,中间还隔着一道名为“精密加工”的巨大鸿沟。
庆祝会开完的第二天一早,郑昊就将周煜、孙宇和钱浩召集到了单晶棒面前。那根硅棒被小心翼翼地固定在一个特制的架子上,在灯光下反射出深邃而神秘的光泽。
“各位,我们的基石有了,现在,要把这块基石,切成厚度均匀、表面光滑的瓦片——也就是晶圆。”郑昊用戴着手套的手,轻轻拂过硅棒光滑的表面。
“这不难吧?”钱浩有些不解地说道,“我们机床所有的是各种精密切割设备,用金刚石切割机,把它切成片不就行了?”
“理论上是这样。”郑昊点了点头,随即话锋一转,“但魔鬼,全在细节里。”
他拿起一张纸和笔,在上面画了一个示意图。
“第一个魔鬼,叫定向。单晶硅是各向异性的,不同晶向的物理和化学性质完全不同。我们后续的工艺,比如腐蚀,都是基于特定的晶向来进行的。所以,在切割之前,我们必须用X射线衍射法,精确地找到它的<111>晶向,并沿着这个方向切割。这个过程,不能有丝毫偏差。”
周煜立刻意识到了问题的关键:“我们的X射线衍射仪精度不够,而且操作复杂,要做到批量化的精确定向,很难。”
“第二个魔鬼,叫切割。”郑昊继续画着,“我们用的不是普通的金刚石锯片,而是一种内圆切割机。刀片是环形的,金刚石刃口在内圈。这样切割时,刀片的张力可以保证极高的切割精度和稳定性。但是,这种刀片,我们国家造不出来。它的厚度只有零点几毫米,对应变和材料要求极高。”
“第三个魔鬼,叫研磨和抛光。”郑昊的声音愈发凝重,“切割下来的硅片,表面会有很多刀痕和损伤层。我们需要用研磨液,进行双面研磨,把硅片的厚度误差控制在微米级别。然后,是化学机械抛光(CMP),用纳米级的二氧化硅磨料和化学腐蚀液,把硅片的一面,抛光到原子级的平整度。这个表面的粗糙度,要比我们能造出的最精密的光学镜头,还要光滑上百倍!”
一连串闻所未闻的名词和匪夷所思的技术指标,像三座大山,压在了众人心头。刚刚还轻松愉快的气氛,瞬间变得凝重起来。
原来,把一块“石头”变成一片“镜子”,竟然是如此艰难的一件事。